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—— 產(chǎn)品展示 ——

可燃?xì)怏w檢測(cè)儀

XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀

產(chǎn) 品 說 明

XPS-7Ⅱ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀


檢測(cè)對(duì)象:毒氣/半導(dǎo)體材料氣體

檢測(cè)范圍:根據(jù)規(guī)格而定

檢測(cè)原理:定電位電解式

檢測(cè)方式:泵吸引式

應(yīng)用行業(yè)石油化工、半導(dǎo)體制造

產(chǎn)品描述:只需更換傳感器組件,即可檢測(cè)各種半導(dǎo)體材料氣體

產(chǎn)品特點(diǎn)

·  只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體

·  用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正

·  可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間


產(chǎn)品用途

·  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

·  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)


對(duì)象氣體

型號(hào) 氣體 滿量程
XDS-7NH NH3 100ppm
XDS-7SH SiH4 25ppm
XDS-7DC SiH2Cl2 25ppm
XDS-7AH AsH3 250ppb
XDS-7PH PH3 1ppm
XDS-7BH B2H6 500ppb
XDS-7SE H2Se 250ppb
XDS-7GH GeH4 1ppm
XDS-7CL Cl2 5ppm
XDS-7CF ClF3 1ppm
XDS-7HC HCl 25ppm
XDS-7HF HF 10ppm
XDS-7HB HBr 10ppm
XDS-7NO NO 100ppm
XDS-7HS H2S 50ppm
XDS-7CO CO 250ppm
XDS-7DS Si2H6 25ppm
XDS-7F2 F2 5ppm
XDS-7OZ O3 1ppm
XDS-7SD SO2 10ppm
XDS-7ND NO2 10ppm
XDS-7NF NF3 100ppm


產(chǎn)品參數(shù)





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